无码人妻丝袜在线视频红杏-无码人妻无码专区-无码人妻亚洲无码-无码人妻一二三区精彩视频-无码人妻一区-无码人妻一区二区精品视频

秉承“嚴謹創芯、無微不至”的宗旨,為客戶提供
集成電路設計、封裝、設備全方面的支持與服務
選擇語言

中國研發團隊在SOT-MRAM取得重要進展

發布時間:2023-03-08     文章來源:admin

當前,全世界主要半導體研發機構和企業都在SOT-MRAM刻蝕工藝上開展了大量工作,然而,SOT-MRAM的刻蝕工藝依然是業界面臨的一項重要技術挑戰。

近日,中科院微電子所在SOT-MRAM的關鍵集成技術領域取得新進展。

據“中科院微電子研究所”消息,為了更好地解決SOT-MRAM的刻蝕技術難題以實現SOT-MTJ的高密度片上集成,同時研究不同的刻蝕工藝對器件磁電特性的影響,中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發中心羅軍研究員課題組開發了一種基于垂直磁各向異性SOT-MTJ的刻蝕“停MgO”工藝(SOMP-MTJ),該工藝有效地解決了SOT-MRAM制造中的刻蝕短路問題。

消息稱,課題組開發了刻蝕“停MgO”工藝,該工藝使MTJ刻蝕終點精確地停止在~1 nm厚的MgO層上(圖 1c,d)。由于隧穿層MgO的側壁從未暴露,從而避免了MgO層的短路。利用“停MgO”刻蝕工藝制備的SOT-MTJ器件陣列,晶圓的電阻良率可提升至100%,同時還提高了器件的TMR、電阻、矯頑力等關鍵參數的均勻性(圖 2a,b)。

另外,“停MgO”器件還具有更高的熱穩定性、更低的翻轉電流密度以及高達1 ns的翻轉速度(圖 2c,d)。該研究成果為高速、低功耗、高集成度SOT-MRAM的刻蝕技術問題提供了關鍵解決方案。

來源:中科院微電子研究所

主站蜘蛛池模板: 亚洲欧美国产精 | 国产精品无码一区二区三区免费 | 亚洲日韩在线观看 | 国产麻豆精选av | 国产日韩另类视频一区 | 少妇高潮惨叫久久久久久欧美 | 在线免费观看国产视频 | 精品一区二区三区中文 | 涩涩伊人久久无码欧美 | 亚洲国产中文日韩欧美一区二区三 | 91精品无码久久久久久久久 | 欧美性猛交aa一级 | 丁香五月婷婷久久 | 东京热主页 | 青青草视频在线观看 | 中文字幕永久在线看 | 国产亚洲天堂 | 亚洲精品国产一区二区贰佰信息网 | 久久视频在线视频观品15 | 国产三级精品三级在线观看专 | 蜜臀av无码人妻 | 自拍日韩亚洲一区在线 | 亚洲AV综合色一区二区三区 | 亚洲国产成人bt天堂 | 久久久久国产精品一区二区 | 青青自拍视频一区二区三区 | 香蕉久久av一区二区三区 | 自拍日韩字幕在线观看 | 国产乱子伦视频大全亚洲欧美 | 久久婷婷五月国产色综合 | 无码成人片一区二 | 亚洲国产精品久久大片 | 日韩毛片精品一区二区 | 超乳爆乳上司 | 人妻精品一区二区三区99不卡 | 人体无码免费在线观看 | 亚洲国产精品人人做人人爽 | 日韩 高清 经典 中文 | 亚洲AV成人片色在线观看高潮 | 二区天堂国产成人无码精品久久久露 | 久久久久久久99精品国产片 |